Tungsten Silisid

Tungsten silicide WSi2 digunakan sebagai bahan kejutan elektrik dalam mikroelektronik, shunting pada wayar polysilicon, salutan anti-pengoksidaan dan salutan dawai rintangan.Tungsten silicide digunakan sebagai bahan sentuhan dalam mikroelektronik, dengan kerintangan 60-80μΩcm.Ia terbentuk pada 1000°C.Ia biasanya digunakan sebagai shunt untuk talian polysilicon untuk meningkatkan kekonduksiannya dan meningkatkan kelajuan isyarat.Lapisan silisid tungsten boleh disediakan dengan pemendapan wap kimia, seperti pemendapan wap.Gunakan monosilane atau dichlorosilane dan tungsten hexafluoride sebagai gas bahan mentah.Filem yang dimendapkan adalah bukan stoikiometri dan memerlukan penyepuhlindapan untuk diubah menjadi bentuk stoikiometri yang lebih konduktif.

Tungsten silicide boleh menggantikan filem tungsten yang lebih awal.Tungsten silicide juga digunakan sebagai lapisan penghalang antara silikon dan logam lain.

Tungsten silicide juga sangat berharga dalam sistem mikroelektromekanikal, antaranya silicide tungsten digunakan terutamanya sebagai filem nipis untuk pembuatan litar mikro.Untuk tujuan ini, filem silisid tungsten boleh terukir plasma menggunakan, sebagai contoh, silisid.

Bahan Khas Kaya pakar dalam Pembuatan Sasaran Sputtering dan boleh menghasilkan Bahan Sputtering Silisid Tungsten mengikut spesifikasi Pelanggan.Untuk maklumat lanjut, sila hubungi kami.