1、 Persediaan merepek
Adalah sangat penting untuk memastikan kebuk vakum, terutamanya sistem sputtering bersih.Sebarang sisa yang terbentuk oleh minyak pelincir, habuk dan salutan sebelumnya akan mengumpul wap air dan bahan pencemar lain, yang secara langsung akan menjejaskan tahap vakum dan meningkatkan kemungkinan kegagalan pembentukan filem.Arka litar pintas atau sasaran, permukaan filem kasar dan kandungan kekotoran kimia yang berlebihan selalunya disebabkan oleh ruang sputtering yang tidak bersih, pistol sputtering dan sasaran.Untuk mematuhi ciri-ciri komposisi salutan, adalah perlu untuk membersihkan dan mengeringkan gas sputtering (argon atau oksigen).Selepas substrat dipasang di dalam ruang sputtering, udara perlu diekstrak untuk mencapai vakum yang diperlukan oleh proses tersebut.Penutup pelindung di kawasan gelap, dinding rongga dan permukaan bersebelahan juga perlu sentiasa bersih.Apabila membersihkan ruang vakum, kami menganjurkan penggunaan letupan pukulan bola kaca untuk merawat bahagian yang berdebu, bersama-sama dengan udara termampat untuk mengeluarkan sisa-sisa percikan awal di sekeliling ruang, dan kemudian secara senyap-senyap menggilap permukaan luaran dengan kertas pasir yang diresapi alumina.Selepas menggilap kertas kasa, ia dibersihkan dengan alkohol, aseton dan air ternyahion.Bersama-sama, ia menyokong penggunaan pembersih vakum industri untuk pembersihan tambahan.Sasaran yang dihasilkan oleh logam Gaozhan dibungkus dalam beg plastik tertutup vakum,
Dibina dalam agen kalis lembapan.Apabila menggunakan sasaran, sila jangan sentuh sasaran secara langsung dengan tangan anda.Nota: apabila menggunakan sasaran, sila pakai sarung tangan penyelenggaraan yang bersih dan tidak berbulu.Jangan sekali-kali menyentuh sasaran secara langsung dengan tangan anda
2、 Pembersihan sasaran
Tujuan pembersihan sasaran adalah untuk menghilangkan habuk atau kotoran yang mungkin wujud pada permukaan sasaran.
Sasaran logam boleh dibersihkan dalam empat langkah,
Langkah pertama ialah membersihkan dengan kain lembut bebas serat yang direndam dalam aseton;
Langkah kedua adalah serupa dengan langkah pertama, membersihkan dengan alkohol;
Langkah 3: bersihkan dengan air ternyahion.Selepas mencuci dengan air ternyahion, letakkan sasaran di dalam ketuhar dan keringkan pada suhu 100 ℃ selama 30 minit.
Pembersihan sasaran oksida dan seramik hendaklah dilakukan dengan “kain bebas lin”.
Langkah keempat ialah membasuh sasaran dengan argon dengan tekanan tinggi dan gas air rendah selepas mengeluarkan kawasan berdebu, supaya dapat mengeluarkan semua zarah kekotoran yang mungkin membentuk arka dalam sistem sputtering.
3、 Peranti sasaran
Dalam proses pemasangan sasaran, Z langkah berjaga-jaga penting adalah untuk memastikan sambungan pengaliran haba yang baik antara sasaran dan dinding penyejuk pistol sputtering.Jika lengkokan tongkat penyejuk adalah teruk atau lengkokan plat belakang teruk, peranti sasaran akan retak atau bengkok, dan kekonduksian terma dari sasaran belakang ke sasaran akan sangat terjejas, mengakibatkan kegagalan pelesapan haba dalam proses sputtering, dan sasaran akan retak atau terlepas
Untuk memastikan kekonduksian terma, lapisan kertas grafit boleh empuk di antara dinding penyejuk katod dan sasaran.Sila beri perhatian untuk memeriksa dengan teliti dan jelaskan kerataan dinding penyejuk pistol sputtering yang digunakan untuk memastikan cincin-O sentiasa berada di tempatnya.
Memandangkan kebersihan air penyejuk yang digunakan dan habuk yang mungkin berlaku semasa operasi peralatan akan disimpan di dalam tangki air penyejuk katod, adalah perlu untuk memeriksa dan membersihkan tangki air penyejuk katod semasa memasang sasaran untuk memastikan kelancaran peredaran air penyejuk dan saluran masuk dan keluar tidak akan terhalang.
Sesetengah katod dirancang untuk mempunyai ruang kecil dengan anod, jadi apabila memasang sasaran, ia perlu memastikan bahawa tiada sentuhan atau konduktor antara katod dan anod, jika tidak litar pintas akan berlaku.
Rujuk Manual pengendali peralatan untuk maklumat tentang cara mengendalikan sasaran dengan betul.Jika tiada maklumat sedemikian dalam manual pengguna, sila cuba pasang peranti mengikut cadangan berkaitan yang disediakan oleh logam Gaozhan.Apabila mengetatkan lekapan sasaran, mula-mula ketatkan satu bolt dengan tangan, dan kemudian ketatkan satu lagi bolt pada pepenjuru dengan tangan.Ulangi ini sehingga semua bolt pada peranti diketatkan, dan kemudian ketatkan dengan sesuatu.
4、 Litar pintas dan pemeriksaan ketat
Selepas peranti sasaran selesai, ia dikehendaki menyemak litar pintas dan ketat keseluruhan katod,
Adalah dicadangkan untuk menentukan sama ada terdapat litar pintas dalam katod dengan menggunakan meter rintangan
Diskriminasi barisan.Selepas mengesahkan bahawa tiada litar pintas dalam katod, pengesanan kebocoran boleh dijalankan, dan air boleh dimasukkan ke dalam katod untuk mengesahkan sama ada terdapat kebocoran air.
5、 Sasaran pra sputtering
Sasaran pra sputtering menyokong argon sputtering tulen, yang boleh membersihkan permukaan sasaran.Apabila sasaran adalah pra tergagap, ia digalakkan untuk meningkatkan kuasa sputtering secara perlahan, dan kadar peningkatan kuasa sasaran seramik ialah 1.5WH / cm2.Kelajuan pra sputtering sasaran logam boleh lebih tinggi daripada blok sasaran seramik, dan kadar peningkatan kuasa yang munasabah ialah 1.5WH / cm2.
Dalam proses pra sputtering, kita perlu menyemak arcing sasaran.Masa pra sputtering biasanya kira-kira 10 minit.Jika tiada fenomena arka, teruskan meningkatkan kuasa sputtering
Kepada kuasa yang ditetapkan.Mengikut pengalaman, kuasa percikan Z tinggi yang boleh diterima sasaran logam adalah
25watts / cm2, 10watts / cm2 untuk sasaran seramik.Sila rujuk kepada asas tetapan dan pengalaman tekanan ruang vakum semasa sputtering dalam manual operasi sistem pengguna.Secara amnya, perlu dipastikan bahawa suhu air di saluran keluar air penyejuk harus lebih rendah daripada 35 ℃, tetapi Z adalah penting untuk memastikan bahawa sistem peredaran air penyejuk dapat berfungsi dengan berkesan
Peredaran air supercooling yang pantas menghilangkan haba, yang merupakan jaminan penting untuk memastikan sputtering berterusan dengan kuasa tinggi.Untuk sasaran logam, secara amnya dianjurkan bahawa aliran air penyejuk adalah
Tekanan air 20lpm adalah kira-kira 5gmp;Untuk sasaran seramik, secara amnya dianjurkan bahawa aliran air adalah 30lpm dan tekanan air adalah kira-kira 9gmp
6、 Penyelenggaraan sasaran
Untuk mengelakkan litar pintas dan arka yang disebabkan oleh rongga yang tidak bersih dalam proses sputtering, adalah perlu untuk mengeluarkan sputter yang terkumpul di tengah dan kedua-dua belah trek sputtering secara berperingkat,
Ini juga membantu pengguna untuk terus tergagap pada ketumpatan kuasa tinggi z
7、 Storan sasaran
Sasaran yang disediakan oleh logam Gaozhan dibungkus dalam beg plastik vakum dua lapis.Kami menyarankan agar pengguna menyimpan sasaran, sama ada logam atau seramik, dalam pembungkusan vakum.Khususnya, sasaran ikatan perlu disimpan di bawah keadaan vakum untuk mengelakkan pengoksidaan lapisan ikatan daripada menjejaskan kualiti ikatan.Berkenaan dengan pembungkusan sasaran logam, kami menyokong bahawa Z perlu dibungkus dalam beg plastik bersih
Masa siaran: 13 Mei 2022