Bahan sasaran yang terpercik mempunyai keperluan yang tinggi semasa digunakan, bukan sahaja untuk ketulenan dan saiz zarah, tetapi juga untuk saiz zarah yang seragam.Keperluan yang tinggi ini membuatkan kami memberi lebih perhatian apabila menggunakan bahan sasaran yang terpercik.
1. Persediaan merepek
Sangat penting untuk menjaga kebersihan kebuk vakum, terutamanya sistem sputtering.Pelincir, habuk, dan sebarang sisa daripada salutan sebelumnya boleh mengumpul bahan pencemar seperti air, secara langsung menjejaskan vakum dan meningkatkan kemungkinan kegagalan pembentukan filem.Litar pintas, lengkok sasaran, permukaan membentuk filem yang kasar, dan kekotoran kimia yang berlebihan biasanya disebabkan oleh ruang sputtering yang tidak bersih, senjata api dan sasaran.
Untuk mengekalkan ciri komposisi salutan, gas percikan (argon atau oksigen) mestilah bersih dan kering.Selepas memasang substrat dalam ruang sputtering, udara perlu diekstrak untuk mencapai tahap vakum yang diperlukan untuk proses tersebut.
2. Pembersihan sasaran
Tujuan pembersihan sasaran adalah untuk menghilangkan habuk atau kotoran yang mungkin wujud pada permukaan sasaran.
3. Pemasangan sasaran
Perkara yang paling penting untuk diberi perhatian semasa proses pemasangan bahan sasaran adalah untuk memastikan sambungan haba yang baik antara bahan sasaran dan dinding penyejuk pistol sputtering.Jika dinding penyejuk atau plat belakang meleding teruk, ia boleh menyebabkan keretakan atau lentur semasa pemasangan bahan sasaran.Pemindahan haba dari sasaran belakang ke bahan sasaran akan sangat terjejas, mengakibatkan ketidakupayaan untuk menghilangkan haba semasa sputtering, akhirnya membawa kepada keretakan atau sisihan bahan sasaran.
4. Litar pintas dan pemeriksaan pengedap
Selepas pemasangan bahan sasaran, adalah perlu untuk memeriksa litar pintas dan pengedap keseluruhan katod.Adalah disyorkan untuk menggunakan ohmmeter dan megohmmeter untuk menentukan sama ada katod litar pintas.Selepas mengesahkan bahawa katod tidak litar pintas, pengesanan kebocoran boleh dilakukan dengan menyuntik air ke dalam katod untuk menentukan sama ada terdapat sebarang kebocoran.
5. Sasaran bahan pra sputtering
Adalah disyorkan untuk menggunakan gas argon tulen untuk pra sputtering bahan sasaran, yang boleh membersihkan permukaan bahan sasaran.Adalah disyorkan untuk meningkatkan kuasa sputtering secara perlahan semasa proses pra sputtering untuk bahan sasaran.Kuasa bahan sasaran seramik
Masa siaran: 19-Okt-2023