Bahan sasaran yang digunakan dalam industri penyimpanan data memerlukan ketulenan yang tinggi, dan kekotoran serta pori-pori mesti diminimumkan untuk mengelakkan penjanaan zarah kekotoran semasa terpercik.Bahan sasaran yang digunakan untuk produk berkualiti tinggi memerlukan saiz zarah kristalnya mestilah kecil dan seragam, dan tidak mempunyai orientasi kristal.Di bawah, mari kita lihat keperluan industri penyimpanan optik untuk bahan sasaran?
1. Kesucian
Dalam aplikasi praktikal, ketulenan bahan sasaran berbeza mengikut industri dan keperluan yang berbeza.Walau bagaimanapun, secara keseluruhan, semakin tinggi ketulenan bahan sasaran, semakin baik prestasi filem yang terbantut.Sebagai contoh, dalam industri penyimpanan optik, ketulenan bahan sasaran dikehendaki lebih besar daripada 3N5 atau 4N
2. Kandungan kekotoran
Bahan sasaran berfungsi sebagai sumber katod dalam sputtering, dan kekotoran dalam pepejal dan oksigen dan wap air dalam liang adalah sumber pencemaran utama untuk memendapkan filem nipis.Di samping itu, terdapat keperluan khas untuk sasaran penggunaan yang berbeza.Mengambil industri penyimpanan optik sebagai contoh, kandungan kekotoran dalam sasaran sputtering mesti dikawal sangat rendah untuk memastikan kualiti salutan.
3. Saiz bijirin dan taburan saiz
Biasanya, bahan sasaran mempunyai struktur polihabluran, dengan saiz butiran antara mikrometer hingga milimeter.Untuk sasaran dengan komposisi yang sama, kadar sputtering sasaran butiran halus adalah lebih cepat daripada sasaran butiran kasar.Untuk sasaran dengan perbezaan saiz butiran yang lebih kecil, ketebalan filem yang didepositkan juga akan menjadi lebih seragam.
4. Kekompakan
Untuk mengurangkan keliangan dalam bahan sasaran pepejal dan meningkatkan prestasi filem, secara amnya diperlukan bahan sasaran sputtering mempunyai ketumpatan tinggi.Ketumpatan bahan sasaran terutamanya bergantung pada proses penyediaan.Bahan sasaran yang dihasilkan dengan kaedah peleburan dan tuangan boleh memastikan tiada liang di dalam bahan sasaran dan ketumpatannya sangat tinggi.
Masa siaran: Jul-18-2023