Ramai kawan-kawan tentang penyelenggaraan sasaran ada lebih kurang soalan, baru-baru ini ramai juga pelanggan yang berunding tentang penyelenggaraan masalah berkaitan sasaran, izinkan editor RSM untuk kami kongsikan tentang ilmu penyelenggaraan sasaran terpercik.
Bagaimanakah sasaran sputter harus dikekalkan?
1、 Penyelenggaraan sasaran
Untuk mengelakkan litar pintas dan arka yang disebabkan oleh rongga yang tidak bersih dalam proses sputtering, adalah perlu untuk membuang sputters yang terkumpul di tengah dan kedua-dua belah trek sputtering secara berkala, yang juga membantu pengguna untuk terus sputter pada ketumpatan kuasa tinggi.
2、 Storan sasaran
Kami mengesyorkan agar pengguna menyimpan sasaran (sama ada logam atau seramik) dalam pembungkusan vakum, terutamanya sasaran pemasangan mesti disimpan dalam vakum untuk mengelakkan pengoksidaan lapisan pemasangan daripada menjejaskan kualiti pemasangan.Bagi pembungkusan sasaran logam, kami mencadangkan bahawa ia hendaklah dibungkus dalam beg plastik bersih sekurang-kurangnya.
3、 Pembersihan sasaran
Langkah pertama ialah membersihkan dengan kain lembut bebas serat yang direndam dalam aseton;
Langkah kedua adalah serupa dengan langkah pertama, membersihkan dengan alkohol;
Langkah 3: bersihkan dengan air ternyahion.Selepas dibersihkan dengan air ternyahion, sasaran diletakkan di dalam ketuhar dan dikeringkan pada suhu 100 ℃ selama 30 minit.Adalah dicadangkan untuk menggunakan "kain bebas lin" untuk membersihkan sasaran oksida dan seramik.
Langkah keempat ialah membasuh sasaran dengan argon dengan tekanan tinggi dan kelembapan rendah untuk mengeluarkan sebarang zarah tidak tulen yang boleh menyebabkan arka dalam sistem sputtering.
4、 Pemeriksaan litar pintas dan ketat
Selepas sasaran dipasang, keseluruhan katod perlu diperiksa untuk litar pintas dan ketat.Adalah disyorkan untuk menilai sama ada terdapat litar pintas dalam katod dengan menggunakan meter rintangan dan megger.Selepas mengesahkan bahawa tiada litar pintas dalam katod, pemeriksaan kebocoran air boleh dijalankan, dan air boleh dimasukkan ke dalam katod untuk menentukan sama ada terdapat kebocoran air.
5、 Pembungkusan dan pengangkutan
Semua sasaran dibungkus dalam beg plastik bertutup vakum dengan agen kalis lembapan.Pakej luar biasanya kotak kayu dengan lapisan anti-perlanggaran di sekeliling untuk melindungi sasaran dan pesawat belakang daripada kerosakan semasa pengangkutan dan penyimpanan.
Masa siaran: Jul-15-2022