Tujuan pembersihan sasaran adalah untuk menghilangkan habuk atau kotoran yang mungkin pada permukaan sasaran.Kini, editor Rich Special Material Co., LTD.(RSM) akan berkongsi dengan anda tentang empat langkah untuk membersihkan sasaran logam:
Langkah pertama ialah membersihkan dengan kain lembut bebas serat yang direndam dalam aseton;
Langkah kedua adalah serupa dengan langkah pertama, membersihkan dengan alkohol;
Langkah 3: bersihkan dengan air ternyahion.Selepas dibasuh dengan air ternyahion, sasaran diletakkan di dalam ketuhar dan dikeringkan pada suhu 100 ℃ selama 30 minit.Sasaran oksida dan seramik hendaklah dibersihkan dengan "kain bebas lin".
Langkah keempat ialah membasuh sasaran dengan argon dengan tekanan tinggi dan gas air rendah untuk mengeluarkan semua zarah kekotoran yang mungkin membentuk arka dalam sistem sputtering.
Nota: semasa mengendalikan sasaran, sila pakai sarung tangan penyelenggaraan yang bersih dan bebas lin untuk mengelakkan sentuhan langsung dengan sasaran dengan tangan.
Masa siaran: Jun-24-2022