Keretakan pada sasaran sputtering biasanya berlaku pada sasaran sputtering seramik seperti oksida, karbida, nitrida, dan bahan rapuh seperti kromium, antimoni, bismut.Sekarang biarkan pakar teknikal RSM menjelaskan mengapa sasaran sputtering retak dan apakah langkah pencegahan yang boleh diambil untuk mengelakkan situasi ini.
Sasaran bahan seramik atau rapuh sentiasa mengandungi tegasan yang wujud.Tekanan dalaman ini dijana dalam proses pembuatan sasaran.Di samping itu, tegasan ini tidak dihapuskan sepenuhnya oleh proses penyepuhlindapan, kerana ia adalah ciri-ciri yang wujud bagi bahan-bahan ini.Dalam proses sputtering, pengeboman ion gas memindahkan momentum mereka ke atom sasaran, memberikan mereka tenaga yang cukup untuk memisahkan mereka daripada kekisi.Pemindahan momentum eksotermik ini menjadikan kenaikan suhu sasaran, yang mungkin mencapai 1000000 ℃ pada tahap atom.
Kejutan haba ini meningkatkan tekanan dalaman sedia ada dalam sasaran kepada banyak kali.Dalam kes ini, jika haba tidak dilesapkan dengan betul, sasaran mungkin pecah.Untuk mengelakkan sasaran daripada retak, pelesapan haba harus dititikberatkan.Mekanisme penyejukan air diperlukan untuk mengeluarkan tenaga haba yang tidak diingini daripada sasaran.Isu lain yang perlu dipertimbangkan ialah peningkatan kuasa.Terlalu banyak kuasa yang digunakan dalam masa yang singkat juga akan menyebabkan kejutan haba pada sasaran.Di samping itu, kami mencadangkan untuk mengikat sasaran ini pada satah belakang, yang bukan sahaja dapat memberikan sokongan untuk sasaran, tetapi juga menggalakkan pertukaran haba yang lebih baik antara sasaran dan air.Jika sasaran retak tetapi terikat dengan plat belakang, ia masih boleh digunakan.
Rich Special Materials Co., Ltd. boleh menyediakan sasaran sputtering dengan backplane.Ia boleh disesuaikan mengikut keperluan pelanggan bahan, ketebalan dan jenis ikatan.
Masa siaran: Sep-21-2022