Untuk menyokong industri komponen penapis piezoelektrik MEMS (pMEMS) berasaskan filem dan frekuensi radio (RF), aloi aluminium skandium yang dikeluarkan oleh Rich Special Material Co., Ltd. digunakan khas untuk pemendapan reaktif bagi filem aluminium nitrida dop skandium. .
Bahan piezoelektrik filem nipis semakin digunakan dalam peralatan elektronik automotif, industri dan peribadi.Aplikasi termasuk penderia cap jari berasaskan pmt dan peranti pengecaman gerak isyarat, mikrofon MEMS, penderia kimia berasaskan resonator dan penderia perubatan.Selain itu, filem nitrida aluminium dop scandium semakin diperlukan untuk merealisasikan penapis RF untuk aplikasi rangkaian 5G.Pada masa yang sama, jumlah aloi skandium aluminium semakin meningkat.
Sifat Al Sc Aloi
Kehomogenan kimia yang sangat konsisten di seluruh aloi
Kehomogenan kimia filem yang sangat konsisten sepanjang hayat cip dan aloi
Ketulenan>99.9%, kandungan oksigen rendah, kandungan pencemar kritikal yang rendah
Kawal struktur mikro dengan ketat untuk mencapai prestasi sputtering terbaik
Tuangan vakum, aloi padat sepenuhnya dengan lekatan yang rendah, kebolehubahan yang rendah dan kebutiran yang rendah
Rich Special Material Co., Ltd. menyokong pelbagai peleburan aloi, penyesuaian sasaran dan perkhidmatan R&D.
Masa siaran: Nov-11-2022