Perunding teknikal RSM akan berkongsi dengan anda kelebihan sasaran sputtering magnetron silinder dan planar?Berbanding dengan sasaran sputtering magnetron lain, sasaran sputtering magnetron silinder dan planar mengekalkan kelebihan keseragaman salutan yang baik bagi sasaran planar segi empat tepat, dan boleh memaksimumkan penggunaan sasaran melalui dua cara berikut:
(1) Apabila dua kumpulan (empat) lubang anulus di permukaan sasaran mencapai kedalaman tertentu, teras sasaran (bahagian magnet) boleh diputar 45 ° berbanding tiub sasaran, supaya kawasan lain pada tiub sasaran yang belum berkarat boleh digunakan;
(2) Apabila teras sasaran sasaran sputtering magnetron silinder dan planar direka bentuk sebagai teras sasaran berputar (teras sasaran berputar semasa sputtering), permukaan sasaran boleh disembur sama rata lapisan demi lapisan tanpa lubang.Pada masa ini, sasaran akan digunakan dengan paling berkesan, dan kadar penggunaan sasaran boleh mencapai 50% ~ 60% Apabila bahan sasaran adalah logam berharga, ini jelas sangat penting.
Dengan menggunakan prinsip magnet dengan kasut tiang dalam sasaran sputtering magnetron silinder sepaksi untuk menyelesaikan masalah medan magnet akhir, sasaran satah segi empat tepat boleh diubah menjadi sasaran sputtering magnetron silinder dan planar, Sasaran boleh memaksimumkan kadar penggunaan sasaran sambil mengekalkan keseragaman salutan yang baik sasaran satah segi empat tepat Untuk meningkatkan faedah ekonomi.
Masa siaran: Jul-04-2022